1. 新风预处理：混合与初步调温调湿
洁净室的空气来源分为新风（室外空气）和回风（室内循环空气），两者先在空气处理机组（AHU）内混合，完成第一步预处理：
- 新风先经过初效过滤器，过滤掉空气中的大颗粒尘埃（≥5μm，如灰尘、柳絮、花粉），保护后续中高效过滤器不被快速堵塞；
- 混合后的空气进入 AHU 的热湿处理段：通过蒸发器降温除湿、加热器升温、加湿器补湿，将空气调节到接近洁净室要求的温湿度范围；
- 同时完成初步除尘和消音，避免室外污染物和噪音直接进入系统。
2. 中级过滤：去除中等粒径颗粒物
经过预处理的空气，会进入 AHU 的中效过滤器段，过滤掉中等粒径的颗粒物（≥1μm，如细小粉尘、烟雾颗粒）。
- 这一步是 **“保护级过滤”**，减少后续高效过滤器（HEPA/ULPA）的负荷，延长其使用寿命；
- 中效过滤器通常为袋式或板式，可定期清洗或更换。
3. 末端高效过滤：核心净化，实现洁净标准
这是空气净化的核心步骤，决定了洁净室的最终洁净度等级：
- 经过中效过滤的空气，通过风管输送到洁净室吊顶或侧墙的高效 / 超高效过滤器（HEPA/ULPA） ；
- HEPA 过滤器：对≥0.3μm 的颗粒物过滤效率≥99.97%，适用于万级、十万级洁净室；
- ULPA 过滤器：对≥0.12μm 的颗粒物过滤效率≥99.999%，适用于百级、千级等高洁净等级场景；
- 高等级洁净室（如百级）会采用FFU 风机过滤单元（风机 + HEPA/ULPA 集成模块），直接布置在吊顶，满布率可达 60%~100%，实现更均匀的送风。
- 经过末端过滤的空气，已是洁净空气，通过送风口的散流板均匀送入洁净室。
4. 气流组织与循环：控制污染扩散，维持洁净环境
洁净空气送入室内后，通过特定的气流组织形式，将室内产生的尘埃、微生物等污染物快速带走，避免局部积尘，核心分为两类：
- 单向流（层流）
- 适用场景：百级、千级高洁净等级（如医药无菌灌装、电子芯片制造）；
- 工作方式：洁净空气从吊顶满布的 FFU 或高效送风口垂直向下（或水平）匀速流动，形成 “空气幕”，将污染物压向地面回风口，全程无涡流，污染物几乎没有扩散空间。
- 乱流（混合流）
- 适用场景：万级、十万级、三十万级洁净室（如食品加工、电子组装）；
- 工作方式：洁净空气从顶部送风口送入，与室内空气混合，带动污染物向四周扩散，最终被布置在墙体下部的回风口吸入，形成循环。
- 回风口吸入的空气（含少量污染物），一部分作为回风重新进入 AHU 循环处理，另一部分作为排风排出室外（排出比例根据洁净室压差要求调整，通常 10%~30%），补充等量新风维持室内正压。
5. 实时监测与调节：稳定系统运行
整个净化系统搭配自控系统，实现动态监测和调节：
- 传感器实时监测室内温湿度、压差、尘埃粒子浓度；
- 若压差低于设定值（如洁净区与非洁净区压差≥5Pa），系统会自动调节回风量或新风量；若温湿度偏离标准，AHU 会自动启停加热、加湿模块；
- 当过滤器阻力过大（说明堵塞），系统会发出报警，提醒更换过滤器
