在微电子洁净室和药品生产洁净室中，各种酸碱物质、有机溶剂、一般气体、特、一般气体和特殊气体；在致敏药物、某些甾体药物、高活性、有毒药物的生产过程中，会有相应的有害物质排出或泄漏到洁净室。因此，对于上述产品，洁净室可能会排出各种有害物质、气体或粉尘。
(1)一般排气系统
这是指在生产辅助室、生活，如值班室、卫生间等一般废气，在大多数情况下不需要特殊处理就可以直接排入大气。
(2)有机气体排气系统
各种有机物质用于产品生产。溶剂作为原辅材料或清洗剂时，会在相关场所或设备处散发有机物质和溶剂气体。这些地方或设备应设置排气装置。一般来说，有机排气系统中的有机气体浓度很低。如果能达到国家标准规定的大气排放标准，可以直接排入大气，无需设置废气处理装置；当排气系统中有机气体浓度超过规定时，应设置有机气体处理装置，达到处理标准后才能排入大气。有机排气的净化处理包括活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法。活性炭吸附注主要用于中小流量无粉尘、无胶粘物质的苯和汽油有机排气的处理；液体吸收法设备简单，能耗低，但吸收效率低；催化燃烧法主要用于苯、醇、脂、汽油等高浓度有机排气的处理装置应根据排气系统中含有机物质的品种和浓度选择相应的处理设备。
(3)酸性气体排气系统
在品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗和实验室中的酸性气体排出。在这种酸性气体的排气系统中，通常设置温度洗气吸收塔，处理后排入大气。图5-56是几种吸收式洗气塔的形式。在实际设计中，应根据酸性气体的类型和浓度选择合适的吸收液和吸收塔[20]。
(4)碱性气体排气系统
排气系统气体中含有碱性物质或与碱性化学试剂混合，类似于酸性气体排气系统，湿式洗气吸收塔通常用于排入大气。近年来，由于大气排放标准越来越严格，含碱性物质（或酸性物质）浓度较低的排气也应净化，以达到排放标准。因此，碱性排气（或酸性排气）只有经过特殊吸附剂处理后才能排入大气。这种吸附剂一般是一次性的，使用后应集中处理，通常由城市垃圾处理场集中处理。
(5)热排气系统
生产过程中的各种炉子和高温灭菌设备都有热空气排放。由于排气温度较高，有时可以通过热回收处理。如果排气量小或不方便，采取必要的隔热措施后直接排入大气。
（6）含粉尘的排气系统，由于产品品种不同，生产工艺不同，排气中粉尘的性质和浓度不同，应根据排气中粉尘的性质和浓度选择各种除尘装置。一般采用袋式除尘器和带过滤元件的过滤装置[21]。图5-57是一种带过滤元件的过滤除尘器，
这些装置可以通过拍打、反吹或更换过滤元件来长期使用。对于一些粉尘浓度高的排气系统，根据工程具体情况，需要设置二次除尘装置，将大部分粉尘送入上述布袋或过滤除尘装置，以满足大气排放标准的要求，稳定经济运行。
(7)特殊气体排气系统
在半导体集成电路的生产中，经常需要使用一些特殊气体，其中许多是易燃、易爆、有毒甚至剧毒或腐蚀性气体。对于这种排气系统，排气系统应根据特殊气体的品种和性质进行划分，必须防止排气系统中的化学反应；其次，应选用特殊的废物处理装置。特殊排气处理设备采用稀释法、吸收法、吸附法、催化燃烧法等；此外，还有排气系统的设备。管道材料的选择必须根据排气中特殊气体的性质选择相应的材料，不得与排放的特殊气体发生反应。
是一种特殊的气体处理设备。首先，在催化反应段，将有害成分催化反应（燃烧），然后送入吸附段，去除各种催化反应生成物，达到排放标准后排入大气。吸附剂按设计要求定期再生，激活吸附能力。
（8）药品生产中有害有毒的排气系统
在生产或分装青霉素等强致敏药物、部分甾体药物、高活性、有毒药物的房间、二级危险以上病原体操作区的出风口，应安装高效过滤器，尽量减少这些药物造成的污染风险。此外，这种排气系统的出风口应与其他药品生产净化空调系统的新风出风口相隔一定距离。
